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沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司半導體生產(chǎn)設(shè)備、 LED生產(chǎn)設(shè)備、 涂膠機、 顯影機、 噴膠機、 去膠機、 濕法刻蝕機、 單片清洗機、 擦片機、 應用于半導體生產(chǎn)、 先進封裝、 MEMS、 LED、 OLED、 3D、 IC、 TSV、 PV等領(lǐng)域、

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沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司由中科院沈陽自動化研究所于2002年底發(fā)起創(chuàng)立，公司座落在沈陽市渾南高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，擁有高等級凈化廠房和一流的研發(fā)辦公環(huán)境，已通過ISO9001質(zhì)量體系、ISO14001環(huán)境體系、OHSAS18001職業(yè)健康與安全體系和SEMI-S2國際產(chǎn)品安全體系認證。

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